Применение ультрафиолетового лазера с длиной волны 355 нм в тонкой обработке монокристаллического кремния

Монокристаллический кремний широко используется в прецизионных приборах, полупроводниках, фотогальванике и других отраслях промышленности, но обрабатывать монокристаллический кремний с высокой точностью и качеством непросто. Это связано с тем, что монокристаллический кремний является типичным материалом с ковалентной связью. Обладает высокой твердостью и хрупкостью. При использовании традиционного наждачного круга и других методов резки механическое напряжение, приложенное к поверхности монокристаллического кремния, легко приведет к образованию крупных сколов и микротрещин, что приведет к снижению выхода продукта.

В последние годы использование лазеров для обработки материалов становится все более распространенным явлением. Например, для фокусировки на фокусе используется видимый свет или инфракрасный свет, а для плавления материала используется тепло, и этот метод термообработки имеет очень большую зону термического влияния, которая подходит для обработки на макроуровне. .

ультрафиолетовый лазер  | зеленый лазер  | Ультрафиолетовые лазеры  | ультрафиолетовый лазер dpss  | наносекундный лазер  | УФ лазерный источник  | Твердотельные лазеры

Использование ультрафиолетового наноимпульсного лазера с длиной волны 355 нм позволяет выполнять точную микрообработку на микроскопическом уровне и обеспечивать высокое качество обработки. Это связано с преимуществами короткой длины волны, высокой скорости поглощения материала, небольшого размера пятна, легкой фокусировки, высокой энергии одиночных фотонов и высокого качества луча ультрафиолетового лазера 355 нм, что позволяет избежать тепловых дефектов и дефектов, вызванных видимым светом или инфракрасным излучением. лазерная обработка. Помимо тонкой обработки полимеров, пленок и других материалов, он также может выполнять операции высокоточной резки, скрайбирования и сверления твердых и хрупких материалов, таких как монокристаллический кремний, сапфир и стекло. Он имеет характеристики высокой скорости обработки и небольшой зоны термического влияния. . Кроме того,

Основываясь на широком рынке и перспективах применения 355-нм УФ-лазера, RFH разработала 355-нм УФ-наносекундный твердотельный лазер с независимыми правами интеллектуальной собственности. Мощность опциональна от 5 Вт до 15 Вт и 20 Вт, что может удовлетворить требования точной резки, штамповки и травления и т. Д. Его качество луча высокое (M2 <1,2), диаметр сфокусированного пятна составляет всего 10-20 мкм, и он может обрабатывать и резать или разрисовывать крошечные детали. Ширина линии очень узкая, а коэффициент использования материала из монокристаллического кремния очень высок. При штамповке также легко получить отверстия размером в десятки микрон, а стенки отверстий гладкие.

В то же время ширина его импульса составляет всего около 20 нс, а тепло часто накапливается до обработки материала, что приводит к меньшей зоне термического влияния, что имеет большое значение при тонкой обработке.