Лазерное скрайбирование голых пластин ультрафиолетовым лазером с длиной волны 355 нм
Ультрафиолетовое излучение с длиной волны 355 нм также можно использовать для нанесения надписей на кремниевые пластины. Разметка вызывает частичные линии разреза на пластине. Эта линия вводит области слабости. Обычно за этим следует процедура механического разрушения для производства силиконовых прямоугольных плиток для последующих операций. Последует механическое разрушение, позволяющее линии разметки оказывать наименьшее сопротивление. Лазер — это высокопроизводительный, экономичный и простой способ точного и долговременного нанесения разметки.
Твердотельный импульсный УФ-лазер серии S9-Y очень компактен. Вся часть блока питания интегрирована в лазерную головку. Это делает размер лазера еще меньше, а интеграцию в систему более простой и удобной. Серия S9-Y имеет короткую ширину импульса (<12 нс при 30k) , превосходное качество луча (M² < 1,2) и идеальное качество лазерного спорта (округлость луча> 90%).
Ультрафиолетовый лазер 355 нм: https://www.rfhtech.com/s9-y-series-integrated-3w-10w-uv-laser_p10.html